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'''步虛'''是指[[道士]]在儀式中邊繞壇邊吟誦的動作，而'''步虛詞'''、'''步虛聲'''、'''步虛韻'''等就是指這個動作吟誦的文詞和腔調。南朝[[陸修靜]]在《[[洞玄靈寶說光燭戒罰燈祝願儀]]》說：「聖眾及自然妙行真人。皆一日三時，旋繞上宮，稽首行禮，飛虛浮空，散花燒香，手把十絕，嘯詠洞章，贊九天之靈奧，尊玄文之妙重也。今道士齋時，所以巡繞高座，吟誦步虛章，正是上法玄根，眾聖真人朝宴玉京時也。」根據這個解釋，步虛是模仿自天上聖眾的禮儀。陸修靜編撰的《[[太上洞玄靈寶授度儀]]》中「稽首禮太上」等十首步虛詞，是現時所見最早使用的步虛詞。後來，步虛詞成為一類常見的詩體。南宋郭茂倩《樂府詩集》卷七八引《樂府解題》即稱：「步虛詞，道家曲也，備言眾仙縹渺輕舉之美。」南北朝時期的庾信，隋代楊廣，唐代顧況、 [[ 吳筠 ]] 、劉禹錫、韋渠牟、僧皎然、高駢、陳陶，北宋、徽宗，金代元好問等人都有步虛詞傳世。今日儀式常用的步虛詞多為五言四句或五言八句，早見於北宋年間編定的《[[金籙齋三洞讚詠儀]]》、《[[玉音法事]]》。